HIT-UOI-RT系列精密/超精密单轴气浮计量/测量转台

★用途

UOI-RT系列精密/超精密单轴气浮转台主要用于高精度机械、光学零部件等几何参量和运动参量的计量检测及分系统与整机装配测试等。

★规格与工作特性    

台面直径范围为Φ200mm-Φ600mm,设计有T型槽或固定孔的台面形式,特殊需要可单独定做;台体承重从100kg到600kg,(技术指标见附表)。

★结构与工作特性    

UOI-RT系列精密/超精密单轴气浮计量/测量转台采用多项发明专利技术进行超精密、高刚度结构设计和气体润滑与支承参数设计,使转台兼有很高的径向、轴向和角回转精度及高刚度特性;转台工作状态平稳,在运动和定位状态下均无气体紊流振动、啸叫、噪声及高频微振等。  

★控制特性     

该转台分为有驱动和无驱动两种,有驱动的控制指标可按下述数据选配。角位置误差:0.2~5";角分辨率:0.01~5";重复性:0.1~1";速率范围:±0.03°/S~±150°/S;速率波动性:0.5%~1%。

★使用条件

电压:220或380V交流电压,50Hz;气源:0.4~0.5MPa的过滤干燥空气;温度:20℃ ± 5℃;温度:< 60%;其它:避免酸碱等腐蚀性气体侵蚀。

 

HIT-UOI-RT系列精密、超精密单轴气浮计量/测量转台技术指标

 

内容

PQT-200型

PQT-250型

PQT-300型

PQT-400型

PQT-500型

PQT-600型

台面直径(mm)

Φ200

Φ250

Φ300

Φ400

Φ500

Φ600

承载kg

100

150

300

300

600

600

径向回转
精度μm

精密级

≤0.06

≤0.06

≤0.08

≤0.08

≤0.1

≤0.1

超精密级

≤0.03

≤0.03

≤0.05

≤0.05

≤0.07

≤0.07

角回转
精度"

精密级

≤0.2

≤0.2

≤0.3

≤0.3

≤0.4

≤0.4

超精密级

≤0.1

≤0.1

≤0.1

≤0.15

≤0.15

≤0.15

工作台面平面度μm

≤2

≤2

≤3

≤4

≤6

≤6

工作台面跳动μm

≤3

≤3

≤4

≤5

≤7

≤7