HIT-UOI-AVI超低频空气弹簧隔振基础

用途

UOI-AVI空气弹簧隔振基础是隔离外界高频、中频、低频及超低频振动干扰的大型专用设施,其本身的固有频率很低,可广泛应用在计量检测、精密/超精密加工以及光学测量与仪器及超精密装备装配调试、惯性仪器、超精密工作母机和超精密装备制造和使用等行业中。

结构特点   

  该设施有隔振台体、空气弹簧系统、阻尼减震系统、高度及水平姿态控制系统、气路控制系统、主动控制系统、计算机测控及软件系统等。

控制特性   

   该设施现有主动控制和被动控制两种控制形式,实现台体同步平衡升降调节,并可进行高度调整、水平姿态调整以及姿态偏差控制调整,其不感带值低,振幅控制在微米量级。

规格与承重     

该设施台面尺寸从2m×3m至6m×15m,特殊需要可根据具体要求设计制作,超大型可达20m×50m;台体自重从十几吨到数百吨,承重从几吨到几十吨。

隔振性能指标    

  被动控制:a横向固有频率0.8~1.3Hz;b纵向固有频率0.9~1.5Hz。
  主动控制: a双向固有频率<1Hz;b加速度:在0~80Hz内加速度均方根值为1~10μg;c速度:在0~80Hz内速度均方根值为2~3μm/s(美国环境科学与技术协会IEST规定工程应用最高隔振指标为3μm/s)。

使用条件

适于实验室和车间环境;电压:AC 220V×50Hz;气源:0.6-1MPa干燥空气减压阀出口,压力0.4MPa;温度:常温20℃±10℃;湿度:< 60%;其它:避免酸碱等腐蚀性气体侵蚀。