HIT-UOI-CYL-A基准型圆柱度测量仪

 

        ★计量性能

 

计量性能 指标
仪器测量不确定度 U=0.10μm/100mm(k=2)
测量系统分辨力 1nm
仪器径向误差 ≤(0.015+0.00015H)μm
仪器轴向误差 ≤0.015μm
传感器沿Z轴导轨移动时的直线度 ≤0.05μm/100mm
基准回转轴线与Z轴导轨的平行度 ≤0.03μm/100mm
仪器的重复性 ≤0.05μm
最大测量高度 300mm
最大测量直径 Φ150mm(Φ300mm)
最大承载重量 50kg
注:H=距工作台面高度;单位:mm