HIT-UOI -CYL-B标准型圆柱度测量仪

 

             ★计量性能
 
计量性能 指标
仪器示值误差 ≤0.15μm/100mm
仪器径向误差 ≤(0.020μm +0.0002H)μm
仪器轴向误差 ≤0.020μm
传感器沿Z轴导轨移动时的直线度 ≤0.07μm/100mm
基准回转轴线与Z轴导轨的平行度 ≤0.05μm/100mm
测量系统分辨力 1nm
仪器重复性 ≤0.05μm
最大测量高度 300mm
最大测量直径 Φ150mm(Φ300mm)
最大承载重量 50kg
注:H=距工作台面高度;单位:mm