HIT-UOI-CYL-S型特殊圆柱形状超精密测量仪

 

 ★计量性能
 
计量性能 指标
仪器示值误差 ≤0.20μm/100mm
仪器径向回转误差 ≤(0.025+0.0002H)μm
仪器轴向回转误差 ≤0.025μm
传感器沿z轴导轨的直线度 ≤0.08μm/1100mm
≤0.15μm/300mm
基准回转轴线与z轴导轨的平行度 ≤0.08μm/100mm
测量系统分辨力 1nm
仪器重复性 ≤0.075μm/100mm
最大测量高度 300mm
最大测量直径 Φ150mm(Φ300mm)
最大承载重量 50kg
注:H=距工作台面高度;单位:mm