HIT-UOI-TANLY650大型圆柱度测量仪

 

 ★计量性能
 
计量性能 指标
仪器示值误差 ≤1.0μm/1000mm
仪器径向回转误差 ≤(0.08+0.00036H)μm
仪器轴向回转误差 ≤0.08μm
传感器沿Z轴导轨的直线度 ≤0.7μm/1100mm
基准回转轴线与Z轴导轨的平行度 ≤0.3μm/1000mm
测量系统分辨力 10nm
仪器的重复性 ≤0.5μm/1000mm
最大测量高度 1100mm
最大测量直径 Φ650mm
最大承载重量 500kg
注:H=距工作台面高度;单位:mm