HIT-UOI-ALG系列超精密气浮导轨

用途 UOI-ALG系列超精密气浮导轨主要用于高精度测量仪器、光学检测仪器、精密/超精密光机电一体化装备、精密/超精密机床等先进装备制造领域,是精密/超精密仪器与制造装备中保证高精度直线运动导向和定位的关键部件。

规格与工作特性 UOI-ALG气浮导轨已成系列(见下表),其有效行程从50mm至3000mm,截面尺寸主要有90mm×90mm,100mm×90mm,150mm×120mm,150mm×140mm,180mm×160mm,200mm×150mm,250mm×200mm等;该系列气浮导轨具有优异的直线运动精度和良好的刚度,直线运动误差小于0.03μm~0.1μm/50mm,0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可单独设计。

结构特点      UOI-ALG系列超精密气浮导轨主要采用花岗岩、金属或陶瓷制作,配有精密导轨基体、气浮套和高洁净空气净化器。采用多项发明专利技术进行高精度、高刚度结构设计和气体润滑及支承参数设计,使导轨兼有高精度、高刚度和高承载的特点;并使导轨工作状态平稳,在运动和定位状态下均无气体紊流振动、啸叫、噪声及高频微振等。

控制特性      分为有驱动和无驱动两种,按其需要进行驱动配置。

使用条件 适于实验室和车间环境;电压:220或380V交流电压,50Hz;气源:0.4MPa的过滤干燥空气;温度:20℃±5℃;湿度:< 60%;其它:避免酸碱等腐蚀性气体浸蚀。

表1 气浮导轨行程 (单位:mm)

 

50

100

150

200

250

300

350

400

500

1000

1500

2000

2500

3000

表2 气浮导轨结构尺寸规格 (单位:mm)

 

巨型导轨截面尺寸

导轨长度

50×50

400,500

90×90

400,600

100×90

400,600

200×250

1000,1200,1400,1600

250×350

1000,1200,1500,1800,2000,2500,3000

 

 

T型导轨截面尺寸

导轨长度

结构尺寸根据要求确定

500~5000