基于外光源频差扩展的超精密快速激光干涉测量技术

研究目的:研究一种基于外光源频差扩展的双频激光外差干涉方法,解决频差扩展问题,以期研制一种新原理的超精密快速激光干涉仪。
基本原理:利用两个频移分别为40MHz和45MHz的声光移频器来构成频差为5MHz的双频激光源,以替代常规的基于塞曼效应的低频差激光源。然后利用该激光源产生外差干涉测量光路,并通过光电转换,信号处理电路,最后被测量的大小以干涉条纹数的形式表示出来。

  

科学意义及应用价值:该技术突破了基于塞曼效应的双频激光频差较低的限制,使测量速度较常规的双频激光干涉仪提高了近5倍,并保持相同的测量精度。与单声光移频器构成的激光干涉仪相比,本系统信号处理相对简单。该技术可广泛用于精密和超精密高速测长系统中。