基于多孔径干涉拼接的深度非球面测量技术

研究目的:研究一种基于多个子孔径干涉拼接的全域非球面超精密测量技术,解决干涉仪测量范围受限和分辨率受限问题,实现局部变化较大的凸凹面深度非球面面型的高精度测量。
基本原理:干涉仪对深度非球面元件进行多次局部检测,两次测量区域之间有一定的重叠。将每两次检测重叠部分的相位值经过拟合统一到一个曲面上,这样可不断地将测量范围扩大,从而获得整个待测元件表面轮廓。拼接的理论依据是在重叠区域内,两次测量得到的波前相位值是一致的,即两次测量相位数据位于同一个曲面上。而在实际测量过程中,则需要消除倾斜、位移、离焦和振动干扰等误差影响,并依据一种高精度的多子孔径干涉拼接测量模型,实现全域凸凹深度非球面形状的精确测量与评定。

  

  

  科学意义及应用价值:建立起一种可精确反映倾斜、位移、离焦和振动干扰等影响因素和作用规律的子孔径干涉拼接测量模型,依据该测量模型,可建立起一种对上述影响因素有较强抑制能力的测量仪器,进而解决凸凹深度非球面测量问题。

    该技术已申请中国发明专利。