差动共焦显微探测与扫描成像技术

研究目的:拟构建一个新的共焦响应特性,使兼具有多重优点,如线性区大、灵敏度高兼具有参考零位,以解决对微结构的探测、边缘瞄准和扫描成像问题。

基本原理:基于反射式共焦显微镜原理,利用针孔轴向偏移不改变CMS光强响应曲线形状这一特性,通过双探测光路布置和焦前与焦后双探测器轴向偏移的差动接受,并经光强归一化处理,获得如图所示的新的响应特性。

 

  

科学意义及应用价值:其横向分辨力比同等条件下的普通显微测量技术的横向分辨力改善1.4倍,线性区扩展,灵敏度提高一倍,且在线性区中央产生参考零位,具有双极性绝对跟踪特性。该技术可广泛应用于三维微细结构、微台阶、微沟槽、集成电路线宽以及物体表面形貌探测、边缘瞄准和扫描成像。

    该成果已获中国发明专利。