基于功能复合和误差分离的超精密回转基准技术

研究目的:研究一种基于功能复合和误差分离方法的超精密回转基准技术,旨在有效简化系统和减少误差环节,以期建立一种纳米精度的圆柱度测量仪器回转基准系统。
基本原理:技术将气浮回转轴系A作为仪器原始回转基准,误差分离转台作为特殊的回转体仪器与回转主轴输出端构成了分离用气浮回转基准B,气浮回转基准A和气浮回转基准B共用一个回转主轴,其使仪器回转基准的功能和误差分离系统的分离功能复合在一起,构成了一个有机的功能复合整体。该技术利用基于功能复合的整体式误差分离系统对仪器的空间回转误差进行逐截面分离,从而实现剔除回转基准中空间回转运动误差的目的。

   

科学意义及应用价值:该方法可充分利用构成系统的各单元零件的冗余功能,有效缩短测量链,提高了仪器运动基准的精度,为仪器集成方法提供了一条新途径。该技术可用于建立高精度的回转基准。
    该技术成果已获中国发明专利。