基于激光透、反组合监测补偿式直线运动基准技术

研究目的:研究一种基于激光透、反组合监测补偿原理的超精密直线运动基准技术,以期实时修正直线运动基准在测量方向上的运动误差分量,提高直线运动精度。
基本原理:将激光透反组合监测补偿技术、主副双导轨直行技术和隔离式抗干扰驱动技术集为一体,以激光光束作为物理基准,依据导轨直线运动误差对传感器测量方向的作用规律,通过监测补偿直线运动导轨的角摆量x和平动量y,并依数学模型求解出各运动误差分量在传感器测量方向上的综合作用量来达到补偿和修正直线运动误差的目的。

 

   

科学意义及应用价值:采用激光光束作为物理基准,可更清楚准确地监测、认识和精确描述直线运动误差的规律,特别是能更准确直接地反映出在传感器敏感上的影响。这即有利于认识误差源作用规律,以便有针对性地改善仪器基准的原始精度,又有利于对所关心的误差做最终的综合实时修正。
    该技术成果已获中国发明专利。