基于等价负透过率调制的超分辨激光直接写入技术

研究目的:研究一种减小激光直写刻蚀光斑宽度,扩展焦深范围的光学超分辨滤波技术,目的是获得比爱里班更小的激光刻蚀光斑,提高刻蚀光斑品质,攻克亚波长微结构衍射光学元件制作瓶颈。
基本原理:基于相干光叠加原理,以振幅和相位参数为基本调制变量,通过寻求衍射场分布的完备函数集合,设计光学超分辨滤波器。超分辨装置中,首先对光束进行分光,然后进行超分辨调制,最后经过相干合成,从而减小刻蚀光斑主瓣宽度、抑制旁瓣增长,延长焦深范围,实现超分辨激光直写。

    

科学意义及应用价值:在超分辨光瞳滤波技术中,引入等价负透过率振幅调制概念,凭借双位相板复合调制作用,将等价振幅透过率的定义域从[0,1]扩展到[-1,1],使振幅型超分辨光瞳滤波器具有横向超分辨增益因子大于2的超分辨特性,突破传统振幅型滤波器横向超分辨特性的理论极限。基于等价负透过率超分辨滤波原理设计的单环带负透过率超分辨滤波器具有旁瓣增长缓慢,能量损失小,结构简单易于制作的优点。该滤波器适用于激光直写刻蚀和光学数据存储系统。
   
        该技术已申请中国发明专利。