阵列式超分辨共焦显微探测与显微成像技术

研究目的:研究一种基于共焦显微原理的三维超分辨阵列扫描探测方法,解决多路并行超近距离光学成像中产生光学混迭等问题,研制一种并行高效三维超分辨探测与扫描成像技术。

基本原理:该方法是采用微光学阵列元件形成点光源阵列照明,各光路采用同一显微物镜,并在物镜前加入新型超分辨衍射元件,以有效提高各光路的三维探测能力。利用点光源与探测点共轭这一特性,可获得较高的轴向分辨力;同时由于超分辨元件的作用,有效的压缩了轴向和径向光强响应曲线的主瓣宽度,获得如图所示的新的响应特性。

    

科学意义及应用价值:该技术有效地提高了三维扫描探测的效率,具有大范围、快速、高精度三维测量的优点,特别适用于大规模集成电路的线宽、台阶测量,以及微结构光学元件的三维表面和微机械三微结构的探测和测量。
    该成果已申请中国家发明专利。